ASM International N.V. (那斯達克股票代號：ASMI ，阿姆斯特丹泛歐證交所股票代號：ASM),宣佈一家台灣晶圓廠為其28 奈米節點high-k 閘極介電層量產製程選擇ASM的Pulsar® 原子層沉積技術(ALD)工具。
除此之外，此家晶圓廠也將與ASM針對最新世代的high-k閘極技術進行製程開發活動。 ASM 在2009年第2季將針對進階節點開發計劃提供額外的 Pulsar 製程模組。該晶圓廠在過去4年也使用ASM的ALD high-K和金屬閘極設備來開發其以鉿基材料為基礎的high-k 閘極製程。
「在28 奈米節點上實現成功的high-K製程證明了ASM在製程當中整合新材料的優異能力。」ASM電晶體產品業務事業部經理Glen Wilk表示。「我們的high-K製程證明了在28奈米節點上的生產能力，我們也期望進一步的開發成果能夠將這些利益延伸到未來的節點上。」
ASM的Pulsar是第一款用於high-k 閘極量產的工具，其由45奈米節點開始採用，現在已經延伸至28奈米節點。
除此之外，此家晶圓廠也將與ASM針對最新世代的high-k閘極技術進行製程開發活動。 ASM 在2009年第2季將針對進階節點開發計劃提供額外的 Pulsar 製程模組。該晶圓廠在過去4年也使用ASM的ALD high-K和金屬閘極設備來開發其以鉿基材料為基礎的high-k 閘極製程。
「在28 奈米節點上實現成功的high-K製程證明了ASM在製程當中整合新材料的優異能力。」ASM電晶體產品業務事業部經理Glen Wilk表示。「我們的high-K製程證明了在28奈米節點上的生產能力，我們也期望進一步的開發成果能夠將這些利益延伸到未來的節點上。」
ASM的Pulsar是第一款用於high-k 閘極量產的工具，其由45奈米節點開始採用，現在已經延伸至28奈米節點。
