18英寸晶圆生产线蓄势待发
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2009-01-09 00:00
前言:
SEMATECH日前在台北举行的论坛中表示18英寸晶圆厂(450mm)将于2012年进行试产,为了达成这个目标,在试产前尚须完成导引晶圆设备厂及制造厂的观点;制造厂整合测试数据;晶圆测试及量测能力;设备展示咨询;提升硅的质量及来料稳定。
SEMATECH大力推展18英寸晶圆厂,宣称18英寸厂能大符改善过往晶圆厂对环境的负面影响,并同时提升安全性。SEMATECH以8英寸厂转换到12英寸为例,说明12英寸厂所使用的水、电力及耗材,相较于8英寸厂减少了50%。以电力使用来说,SEMATECH的目标是每生产一片18英寸晶圆的耗电量和生产一片12英寸晶圆的耗电量相同,为了达成这个目标,12英寸晶圆的单位耗电量必须降低55%,生产一片12英寸晶圆需要电力1503.8 kWh,每单位耗电相当于2.13 kWh / cm2,18英寸晶圆的面积是12英寸的2.25倍,若要达到1503.8 kWh的总耗电量,18英寸晶圆的每单位耗电量必须达到0.95 kWh/cm2,也就是每单位耗电量下降55%。
为落实18英寸厂2012年上线测试的目标,2009年将持续进行发展18英寸单晶硅的供应,并进行洁净室评估,为落实绿色工厂的目标,订定环境保护规范。为了让18英寸厂能顺利上线,该组织将持续与半导体产业合作与沟通,开发测试晶圆、量测及展示测试方法,并积极评估18英寸厂实际运行将会遇到的挑战。三星、台积电与Intel已同意将于2012年测试生产18英寸晶圆。