用于测量半导体工艺与设备中关键参数的精确产品生产商 CyberOptics Semiconductor 推出了其新的 WaferSense™ 自动振动系统 (AVS)，该系统旨在监测三轴的加速度与设备振动情况，以实现设备运动与晶圆产出的最大化。
由于设备的加速度与振动会对成品率发生显著的影响，因此，它们对晶圆生产构成了重大的威胁。在移动台被用于定位硅晶圆的半导体环境中，用来加速移动台的力能够使设备产生振动，从而导致载运物产生变化并损害晶圆。半导体行业中所使用的高度精确与敏感的设备的耐振度极低，而达不到颗粒规格的设备必需从生产线中移开以进行重新校准，进而导致减慢生产过程。此外，对自动材料处理设备必须进行监测，确保其不超过实现最优设备性能与成品率所容许的最大振动水平量。实现最大加速度与最小振动之间的平衡对晶圆厂成品率来说至关重要。
WaferSense AVS 是一种无线操作的类晶圆加速传感计，以 200 mm 或 300 mm 格式推出，旨在通过半导体工艺设备和自动材料处理系统，包括带匣盒、SMIF 和 FOUP，来观察和监测三轴加速度与振动。它可报告 x、y 以及 z 的加速度情况，范围为 ±2 G，并能发现晶圆滑动、滑移、撞击、擦痕以及粗糙的处理。这信息随后通过与该系统整合在一起的应用软件 VibeView™ 传送到计算机中。GUI 收集与展示这一类似于示波镜的数据，这样，基线性能便可被记录下来，并定期监测以发现变动。一旦发现污染源所处位置或污染源消失，设备便能迅速进行调整。晶圆厂工程师能够实时看到调整结果，从而加快设备配置与调整，而运动参数也可实现最优化。振动数据不但可与过去的数据进行对比，而且还可从一种工具到另一种工具进行对比，以减少维护与周期时间。
客观而可复制的振动数据有助于降低维护成本。用户可以获得针对设备即将产生故障的早期预警，或检查设备是否继续正常运行。这些知识可帮助优化预防性的维护计划。WaferSense AVS 由电池提供动力，每次充电约可运行4个小时。该产品洁净并可与真空相容，因此在做调整时无需打开工具，使流程区域暴露于环境中。
CyberOptics Semiconductor 总经理 Craig Ramsey 表示：“振动数据对当今的晶圆厂至关重要，因为过大的加速度会降低晶圆制程的精确度，而多余的振动则会影响设备成品率。WaferSense AVS 为晶圆厂工程师提供了获得最大设备加速度和最小振动的途径，以优化设备生产力和显著提高成品率。”
WaferSense AVS 主要规格
·形态系数——SEMI 200 mm 凹槽，或平坦，或 300 mm
·薄而轻：6.3 mm 高
o200 mm: 150 gm
o300 mm: 240 gm
·机架——碳纤维复合材料
·范围——±2 G.
·分辨率——±0.01 G.
·运行压力——760至 10-6 Torr 以下
·运行温度——20°C 至 70°C
·电池运行——每次充电可运行4小时
·蓝牙无线通讯——利用 2.4 GHz 射频波段与连接于主机 USB 端口的 WaferSense 链接进行通讯。
·操作系统——可用于 Windows® 2000、XP 以及 Vista。
WaferSense AVS 产品套件现在已经推出，包括一个振动感应晶圆、通讯链接模块、VibeView™ 应用软件、炉料清洁盒以及运输箱。自动振动系统加入了不断壮大的 WaferSense™ 产品系列之列，这些产品包括：自动校准系统 (Auto Teaching System, ATS)、自动调平系统 (Auto Leveling System, ALS) 以及自动间隙调整系统 (Auto Gapping System, AGS)。
CyberOptics Semiconductor 简介
CyberOptics Semiconductor 设计并交付在半导体制程和设备中测量关键参数的精密产品。Cyberoptics Semiconductor 是 CyberOptics Corp.（纳斯达克交易代码：CYBE）旗下子公司。CyberOptics Corp. 是一家为电子装配和半导体制造业提供改进制程产量和产能解决方案的世界领先企业。
CyberOptics网站:www.CyberopticsSemi.com
由于设备的加速度与振动会对成品率发生显著的影响，因此，它们对晶圆生产构成了重大的威胁。在移动台被用于定位硅晶圆的半导体环境中，用来加速移动台的力能够使设备产生振动，从而导致载运物产生变化并损害晶圆。半导体行业中所使用的高度精确与敏感的设备的耐振度极低，而达不到颗粒规格的设备必需从生产线中移开以进行重新校准，进而导致减慢生产过程。此外，对自动材料处理设备必须进行监测，确保其不超过实现最优设备性能与成品率所容许的最大振动水平量。实现最大加速度与最小振动之间的平衡对晶圆厂成品率来说至关重要。
WaferSense AVS 是一种无线操作的类晶圆加速传感计，以 200 mm 或 300 mm 格式推出，旨在通过半导体工艺设备和自动材料处理系统，包括带匣盒、SMIF 和 FOUP，来观察和监测三轴加速度与振动。它可报告 x、y 以及 z 的加速度情况，范围为 ±2 G，并能发现晶圆滑动、滑移、撞击、擦痕以及粗糙的处理。这信息随后通过与该系统整合在一起的应用软件 VibeView™ 传送到计算机中。GUI 收集与展示这一类似于示波镜的数据，这样，基线性能便可被记录下来，并定期监测以发现变动。一旦发现污染源所处位置或污染源消失，设备便能迅速进行调整。晶圆厂工程师能够实时看到调整结果，从而加快设备配置与调整，而运动参数也可实现最优化。振动数据不但可与过去的数据进行对比，而且还可从一种工具到另一种工具进行对比，以减少维护与周期时间。
客观而可复制的振动数据有助于降低维护成本。用户可以获得针对设备即将产生故障的早期预警，或检查设备是否继续正常运行。这些知识可帮助优化预防性的维护计划。WaferSense AVS 由电池提供动力，每次充电约可运行4个小时。该产品洁净并可与真空相容，因此在做调整时无需打开工具，使流程区域暴露于环境中。
CyberOptics Semiconductor 总经理 Craig Ramsey 表示：“振动数据对当今的晶圆厂至关重要，因为过大的加速度会降低晶圆制程的精确度，而多余的振动则会影响设备成品率。WaferSense AVS 为晶圆厂工程师提供了获得最大设备加速度和最小振动的途径，以优化设备生产力和显著提高成品率。”
WaferSense AVS 主要规格
·形态系数——SEMI 200 mm 凹槽，或平坦，或 300 mm
·薄而轻：6.3 mm 高
o200 mm: 150 gm
o300 mm: 240 gm
·机架——碳纤维复合材料
·范围——±2 G.
·分辨率——±0.01 G.
·运行压力——760至 10-6 Torr 以下
·运行温度——20°C 至 70°C
·电池运行——每次充电可运行4小时
·蓝牙无线通讯——利用 2.4 GHz 射频波段与连接于主机 USB 端口的 WaferSense 链接进行通讯。
·操作系统——可用于 Windows® 2000、XP 以及 Vista。
WaferSense AVS 产品套件现在已经推出，包括一个振动感应晶圆、通讯链接模块、VibeView™ 应用软件、炉料清洁盒以及运输箱。自动振动系统加入了不断壮大的 WaferSense™ 产品系列之列，这些产品包括：自动校准系统 (Auto Teaching System, ATS)、自动调平系统 (Auto Leveling System, ALS) 以及自动间隙调整系统 (Auto Gapping System, AGS)。
CyberOptics Semiconductor 简介
CyberOptics Semiconductor 设计并交付在半导体制程和设备中测量关键参数的精密产品。Cyberoptics Semiconductor 是 CyberOptics Corp.（纳斯达克交易代码：CYBE）旗下子公司。CyberOptics Corp. 是一家为电子装配和半导体制造业提供改进制程产量和产能解决方案的世界领先企业。
CyberOptics网站:
