微机电系统(MEMS)已经在消费性电子装置上,如陀螺仪、磁力计、加速度计、投影机、麦克风、高度计、显示屏等各种组件到处都看得到它的踪影。继上一期报导,本期专题延续MEM技术应用的介绍。
● 随着MEMS技术和制程的进步，MEMS陀螺仪的成本不断降低，性能不断提高，功耗越来越低，尺寸越来越小，能够让手持设备增加更多新功能。多轴MEMS陀螺仪结构大幅缩小，单封装集成数字接口，占板面积仅几平方毫米，低廉的价格被大多数客户接受，这些优势促使MEMS陀螺仪渗透到手持设备市场。
● 目前在各项保护装置中，MEMS感测组件扮演了相当重要的角色。MEMS传感器的精确度高，在分秒必争的生死关头，对提高生还率有很大的帮助。发生异常时，传感器可以快速撷取各种必要的信息，回传至中央计算机，协助系统做出正确的判断。可以预见将来MEMS传感器的应用将越来越广，如引擎状况监控、液压系统监控、变速箱监控…等，都有可能使用MEMS组件取代现有传感器。
● 完全整合而且可靠的振动传感器问世，以其适用于自主式与组态可设定作业的能力，为预知维护编程开发厂商提供了能够显着改善数据搜集程序质量与整合性的能力，而不会有以往振动分析方案所造成的限制与妥协。这些新的传感器以其高位准的整合性与简化的可编程接口，让振动感测功能能够更为简单的获得采用，而这在以往只限于少数具备高技术的专业技术人员能够应用。
● MEMS微型投影机，由于需要采用雷射作为光源，成本较高，尤其是绿光雷射目前呈严重寡占状态，价格降低速度缓慢，目前仅有少数厂商投入开发，除了手机之外，先进微系统亦有意将微型投影机导入车用显示器应用。
● 随着消费电子产品不断地小型化和高规格化，MEMS麦克风发展迅猛，不断受到数码相机、笔记本电脑、高端手机等消费电子制造商的青睐。
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